1、参考SEMI标准 E4-0699 SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I) E5-0600 SEMI Equipment Communica

Hostoffline 和EquipmentOffLine的区别 设备离线后 如果想上线为Online状态 首先自己设为AttemptOnlineState状态， 然后会向主机发送S1F1指令，

参考 “SEMI E30, GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT (GEM)”, Semiconductor Equipment a

前言 转眼已在半导体行业工作了5个年头，慢慢的对半导体的工艺和设备从不懂小白也转换成了小有了解，因为经常要面对产线设备生产过程中出现的问题并要去解决它，所以对GEM流程和SE

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)【半导体设备材料国际联盟】制定了半导体设备通讯标准接口SECS(Semiconductor Equipment Communicati

什么是GEM 控制状态? GEM板的控制状态是E30 GEM的基本要求之一。它定义了主机和设备之间的协作级别，并指定了操作员如何在不同级别的主机控制状态下进行交互。 在半导体工厂中，主机或操作员可以控制设备的加工。双方同时控制设备会带来

写在前面： 该文档是学习指南，按照文档的章节阅读可以一步步了解SecsGem相关软件的架构、SecsGem的知识等等。该文档是对软件和协议的总结概括，便于读者阅读&

历史由来和发展进程 SECSGEM（Semiconductor Equipment Communication StandardGeneric Equipment Model）的历史由来