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溅射
关于射频电源匹配器的产生低温等离子体的应用原理
年月日发(作者:)关于射频电源介绍与应用射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.现代的射频电源有了长足发展,由八十年
射频
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