Silvaco TCAD仿真7——“hello world”例程（电阻仿真）

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Silvaco TCAD仿真7——“hello world”例程（电阻仿真）

代码：

#启动器件仿真工具atlas
go atlas #建立网格。
#定下来这个器件处于什么区域、什么位置。把空间离散化。
mesh
x.mesh location=0.00 spac=1.0
x.mesh location=1.00 spac=1.0
y.mesh location=0.00 spac=0.1
y.mesh location=1.00 spac=0.1#定义材料。这个区域全是硅材料
region num=1 silicon#定义电极
#在顶部是阳极，在底部是阴极
electrode name=anode top
electrode name=cathode bottom#定义掺杂
#均匀掺杂，浓度=5e16
doping n.type conc=5e16 uniform#定义模型
#conmob fldmob都是迁移率模型。
#conmob和掺杂浓度有关， fldmob和电场有关
model conmob fldmob#求解内容
solve init  #求解初始值
log outfile=resist.log  #把求得的仿真结果，存在resist.log中
solve vanode=0.05 vstep=0.05 vfinal=1 name=anode#开始计算，阳极电压从0.05V开始，间隔0.05，计算到1V
quit

工具仿真

打开仿真结果： 

程序运行完之后

选中 resist.log，右键，选择Plot resist.log

得到仿真的结果

或者，右击右边方框里的resist.log，右键，选择Plot resist.log

选择要看的仿真曲线： 

 TonyPlot中，空白处，右键选择display，选择要看的仿真结果

 在display框中，选择XY轴的内容，得到不同的仿真曲线。可以选择线性坐标，或者log坐标。

 仿真曲线： 

 仿真结果输出：

仿真结果的输出文件，可以使用其他作图软件绘制曲线

 参考：

半导体器件与工艺仿真领域的“hello world”例程