【Process corner】

编程入门 行业动态 更新时间:2024-10-28 01:26:15

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【Process corner】

Process corner-PVT:关于pvt corner的一些整理和思考

为了电路能够正常工作,fab需要保证生产的器件性能在一定范围内,由此通过实际生产的器件测量特性提出了器件模型,用于表征工艺对器件性能的影响。目前的硅基工艺,所说的器件性能一般指mos管的IV特性曲线。表现在电路中是cell delay。
mos管的沟道电流与工艺有关,材料有关,工作条件(外界温度,加的电压)有关。fab通过这三个方面提出了process corner的概念,表征器件性能。

工艺波动对器件性能的影响

工艺波动包括:掺杂浓度,制造时的温度,刻蚀程度等。
为了限定这一影响。提出了ff tt ss来限定器件性能的范围。ff即fast nmos fast pmos。

温度对器件性能的影响

已经制作完成的器件,Ids会随温度变化,主要是因为温度会影响掺杂半导体的导电性。掺杂半导体的导电性由两方面决定,一是迁移率,即载流子速度,迁移率随着温度的变化是先增大后减小。增大的原因是电离杂质散射占主导,减小的原因是晶格振动散射占主导。二是电阻率,即载流子数量,电阻率与杂质电离,本征激发同时相关,随温度升高先减小后增加再减小。很低的温度时,电阻率随温度升高而下降,即器件变快,温度到达杂质全部电离之后,电阻率变化不大,但迁移率随温度升高而降低,即器件变慢(温度反转效应);温度高到导致本征激发后,主导因素从迁移率变为电阻率,电阻率会急剧变小,器件会变快,此时器件已经不能正常工作。硅的最高工作温度为250°。

电压对器件性能的影响

根据mos管的饱和工作区电流-电压特性,
源漏饱和电流随阈值电压增大而增大,即电压变高,可以使器件变快。

门电路延迟模型

NLDM(90nm以上)/ECSM(cadence)/CCSM(synopsys)都是器件级延迟模型。
输入电容/输入到输出的delay,输出transation
不同时序弧的输出delay/transation=f(输入pin转换时间transation time,输出pin load)
器件延迟模型
NLDM/CCS详细介绍

Q: 因此timing signoff时,timing不能满足时,采用降频或者升压的方式。这个方式具体造成的影响是?对setup和hold的影响一样吗?

Q: 实际后端在一个scenario下已经读取一个lib的cell delay信息(如ss_0p72_n40)和rc信息。为什么还要额外叠加derate?
cell delay+∂delay ;derate是为了表征电压和温度波动对cell delay的影响。
net delay+∂delay;由wire socv文件提供(PT)。

Q: signoff时的一个view(mode_pvt: func_ss0p65n40)除了MODE_PVT还有ccmax信息,为什么需要两者叠加?ccmax和rcmax的区别从哪里表示?
PVT表示的是cell delay(FEOL),ccmax表示的是net delay (BEOL);ccmax和rcmax ,QRC抽取寄生参数调用的qrc tech file不一样。【参考mmmc file的构成】。

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