石墨厚度测量

石墨厚度测量"/>

石墨厚度测量

要求：测量薄膜下石墨的厚度

如上图所示，首先先圈出被测量的区域，薄膜上的油墨厚度测量，尽量选择石墨附近的油墨进行测量，由于测量物体的不透明的，为了确保精度，采用的是双轴对射平台

双轴对射平台，是采用两个侧头，通过对心的方式，是两个探头的光斑重合，从而保证被测区域的精度。

（被测区域精度）

(平均值)

通过上图就得出4个产品的区域精度，产品1位置1重复13次的动态重复精度为0.135微米，位置2重复13次的动态重复精度为0.053微米，位置3重复13次的动态重复精度为0.073微米，位置4重复13次的动态重复精度为0.175微米。光谱共焦传感器的测量值会与接触式高度计的测量值有一个固定偏差，可以通过增加固定补偿值消除真值的差距。

石墨厚度测量

本次采用立仪科技D15A32R02S3的侧头搭配双通道控制器，其侧头的最大量程为0.65MM，分辨率2nm，最小光斑直径3.5um，工作距离6mm，最大测量角度±32°