硅片厚度测量"/>
硅片厚度测量
要求测量硅片的厚度
硅片厚度测量
由于硅片是不透明,且反光的物品,本次测试采用D40A36搭配双通道H4UC控制器,D40A36具有小光斑,分辨率和测量精度都更高,非常适合测量高精度,高分辨率且反光的物品。
(对射侧厚)
(对射侧厚)
蓝色曲线为上镜头高度数据曲线,红色曲线为下镜头高度数据曲线,通过上下镜头的高度数值,可以计算出厚度曲线。
(硅片的厚度数值)
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要求测量硅片的厚度
硅片厚度测量
由于硅片是不透明,且反光的物品,本次测试采用D40A36搭配双通道H4UC控制器,D40A36具有小光斑,分辨率和测量精度都更高,非常适合测量高精度,高分辨率且反光的物品。
(对射侧厚)
(对射侧厚)
蓝色曲线为上镜头高度数据曲线,红色曲线为下镜头高度数据曲线,通过上下镜头的高度数值,可以计算出厚度曲线。
(硅片的厚度数值)
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