光谱共焦用于玻璃基板厚度测量

光谱共焦用于玻璃基板厚度测量"/>

光谱共焦用于玻璃基板厚度测量

光谱共焦位移传感器是通过彩色激光光源发射出一束高密度宽光谱光，通过色散镜头后，在量程范围内行程不同波长的单色光，每个波长对应一个距离值，测量光射到物体表面反射回来，只有满足共聚焦条件的光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到光的焦点的波长，换算获的距离值。

光谱共焦用于玻璃基板厚度测量

玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件。这是一种表面极其平整的浮法生产薄玻璃片。目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.7mm及0.5mm，且即将迈入更薄(如0.4mm)厚度之制程。基本上，一片TFT-LCD面板需使用到二片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板及彩色滤光片(COLORFILTER)之底板使用。

能够提供大尺寸上影液晶屏幕玻璃基板的厂商只有美国康宁、日本旭硝子等四家，其中美国康宁占据51%的市场，日本旭硝子占据28%的份额，而能够为5代以上生产线提供配套的也只有这两家，虽然玻璃基板只占据TFT-LCD产品成本的6%-7%，但技术上的寡头垄断让玻璃基板产品成为TFT-LCD上游材料占据主导的零配产品。国内彩虹、东旭等自己上马的TFT-LCD玻璃项目应该得到特别的支持与鼓励。

光谱共焦用于玻璃基板厚度测量

由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常严格，一般在0.01mm的公差，主要准确地测量玻璃厚度、翘曲和平行度。采用ERT光谱共焦传感器很好的解决这一难题，由于采用共焦原理，一次测量即可完成了高度值、厚度值的采集，加上同时采用多只传感器测量，不但提升了效率，而且避免接触式测量造成的二次损伤。