Silvaco基础知识和GT栅帽高度变化对Cgs影响仿真

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Silvaco基础知识和GT栅帽高度变化对Cgs影响仿真

1 Silvaco学习了解渠道

• Silvaco官网 silvaco
• User’s manual，在软件安装包中基本会有。
• Silvaco软件下的例子
• 书籍《半导体工艺和器件仿真软件Silvaco实例教程》

2 栅帽高度对Cgs影响仿真

2.1 仿真流程

1）网格设置
2）区域、电极、接触金属设置
3）计算模型和方法
4）求解
5）结果展示
6）高度改变的循环

2.2 器件结构

2.3 代码

#change GT size and CF trend
go internal
set length0 = 1 
set height = 0.5 
#height change from 0.5-0.75
set index = 0
loop steps = 5 go atlas #mesh
mesh width=100
x.m l=0.0 s=0.25
x.m l=1 s=0.25
x.m l=1.5 s=0.25  
x.m l=2.5 s=0.15
x.m l=3 s=0.15
x.m l